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[테이블]- TYPE : PNEUMATIC ISOLATION+ oildamper(일체형)- Precision Granite Surface Plate- Total Size(mm) : 2800x2300x800- NATURAL FREQUENCY (VERTICAL / HORIZONTAL) : 1.2 ~ 1.5Hz- 외장형 OIL DAMPER 적용- SUPPORT 전면 여닫이, SIDE COVER 포함(4면)- Max load : 3000kg/EA


[X axis] - Travel : 1900mm- 구동거리 : 1900mm- Step motor, Lm Guide, Linear Encoder, Steel tape scale ,Screw c5- Resolution(um) : 0.1- Accuracy(mm) : ±5um/100mm- Repeatability : ±10um- Maximun Speed : 80mm/sec(5kHz)- Flatness : ±50um- Straightness : ±30um


[Y axis]- Travel : 1050mm- 구동거리 : 1050mm- Lm Guide, Linear Encoder, Steel tape scale- Flatness : ±100um- Straightness : ±50um- LM clutch 기능 ( 에어솔레노이드밸브 타입)- X-Manual stage, in-clutch

[Z axis]- Travel : 300mm- Table Dimension(mm) : 450x180- Travel Range(mm) : 300- Resolution(mm) : 0.002 / Pulse- Accuracy : 15um- Repeatability : ±5um- Maximun Speed : 20mm/sec(5kHz)


[가공품 및 구매품]- BASE Plate 외

[PCIE 타입]
2축 컨트롤 제어보드2축 제어 시스템 배선작업2축 연결 케이블 ( X축, Z축 )기본 구동 프로그램 제공라이브러리 제공
- PCI 모션 카드 라이브러리 Wrapper- C++ DLL, Header 파일 제공- 라이브러리 샘플 코드 제공- 제작되는 장비의 센서 및 모터 설정에 대한 Easy Init 등을 포함하는 사용이 간단한 형태의 라이브러리

[Image Processing Program]- 이미지 치수 측정- 다중 이미지 포맷 지원- 4축 Manual 조그 컨트롤러(S/W) 인터페이스 지원- 측정도구 (점/선/원/호/다각형/다각선/타원)- 기본 조합개체 (각도/최소거리/최대거리/평균거리)- 도면 정렬 및 옵셋- 형상 공차 (진직도, 진원도, 평행도, 직각도, 평탄도, 동심도)- 전동 스테이지 컨트롤 / Movement + Snap 레시피 지원- 3Megapixel 디지털 카메라 ( Image Sensor: 1/2" (6.55x4.92) Aptina CMOS Sensor)- 멀티 포커스 / 반난사 보정 / 이미지 타일링 / CAD 호환(Import/Export)- 오버레이 차트(눈금자,십자선,원,사각형,그리드,각도)- 성적서 엑셀 파일 생성 / 엑셀 폼 필터 지원

[올림푸스 광학계]
- BX53M 적용

 

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