AL120-128-WM 웨이퍼 검사 시스템

AL120-128-WM Wafer Inspection System

AL120-128-WM 웨이퍼 검사 시스템은 8인치 및 12인치 SEMI 표준 웨이퍼를 대상으로 정밀한 매크로 및 마이크로 비주얼 검사를 수행할 수 있는 고사양 자동 검사 솔루션입니다.
Olympus AL120-LMB128 자동 로더와 고성능 현미경 시스템이 통합되어 있어, 생산 현장에서 빠르고 안정적인 검사 프로세스를 구현합니다. 진공 척 기반의 모터식 스테이지를 통해 검사 정확도를 극대화하며, 웨이퍼 매핑, 결함 관리, 통신 등 다양한 기능을 지원합니다.

제품 사양 (Specifications)

제품 특징

• Olympus AL120 자동 로더 탑재
  안정적인 웨이퍼 이송 및 로딩으로 작업 효율 극대화

• 고정밀 시각 검사
  상단/후면 매크로 및 마이크로 현미경 검사 통합 지원

• 현미경 통합 유연성
  Olympus MX61L, MX63L 등 다양한 고급 모델과 호환

• 정밀 스테이지 기반 검사
  진공 척과 고정밀 모터 스테이지로 검사 정확도 향상

• SEMI 표준 완벽 대응
  FOUP/FOSB/오픈 카세트, 웨이퍼 매핑 등 산업 표준 완비

• 클린룸 대응 가능
  HEPA 필터 옵션 및 진동 방지 설계로 청정 환경 유지

적용 분야

• 반도체 전공정/후공정 시각 검사

• 웨이퍼 결함 분석 및 품질 검수

• 웨이퍼 정렬 및 표면 오염도 분석

• 매뉴얼 검사 공정 자동화 전환

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