항목

 사양 (Korean)

 사양 (English)

 지원 웨이퍼

 8인치 / 12인치 SEMI 표준

 8” / 12” SEMI standard

 로딩 포트

 FOUP / FOSB / 오픈 카세트 (최대 2개)

 FOUP / FOSB / Open Cassette (up to 2)

 자동 로딩 시스템

 4축 ATM 로봇 자동 로더

 4-axis ATM robot loader

 정렬기

 웨이퍼 사전 정렬기 포함

 Wafer pre-aligner included

 검사 방식

 매크로 (상단/후면) 및 마이크로 시각 검사

 Macro (Top/Backside) and Micro Visual Inspection

 현미경 통합

 Olympus / Evident MX63L 또는 BXC

 Olympus / Evident MX63L or BXC

 스테이지 구성

 진공 척 기반 수동 및 모터 구동 스테이지

Manual & motorized stage with vacuum chuck

 웨이퍼 매핑

 SEMI E142 표준 웨이퍼 매핑 시스템

 Wafer mapping system (SEMI E142 standard)

 데이터 관리

 빈(Bin) / 결함(Defect) 관리 기능

 Bin / Defect data management

 통신

 TCP/IP 플랫폼, SECS/GEM (옵션)

 TCP/IP platform, SECS/GEM (optional)

 진동 제어

 진동 방지 플랫폼 내장

 Built-in anti-vibration platform

 클린룸 옵션

 HEPA FFU 장착 가능

 HEPA FFU available (optional)

 물류 대응

 OHT / AGV 연동 가능 (SEMI 표준, 옵션)

 OHT / AGV compatible (SEMI standard, optional)