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AX120-86 웨이퍼 검사 시스템 (웨이퍼 로더) wafer loader Wafer Inspection System

작성자사이언스타운 조회 55회 작성일 25-08-07 10:14

AX120-86 웨이퍼 검사 시스템

AX120-86 Wafer Inspection System

AX120-86 웨이퍼 검사 시스템은 6인치 및 8인치 SEMI 표준 웨이퍼를 대상으로 한 정밀 검사 장비로,

자동화된 로딩/언로딩, 고정밀 시각 검사, 데이터 추적 관리 기능을 통합한 고성능 장비입니다.

Olympus 또는 Evident 현미경과 완벽히 통합되어 있으며, 매크로 및 마이크로 시각 검사가 가능하여 반도체, MEMS, LED 등의 제조 공정에서의 품질 검증과 불량 분석에 최적화되어 있습니다.

제품 사양 (Specifications)

항목	사양 (Korean)	사양 (English)
지원 웨이퍼	6인치 / 8인치 SEMI 표준	6” / 8” SEMI standard
로딩 포트	오픈 카세트 / SMIF 포드 오프너 (최대 2개 구성)	Open cassette / SMIF pod opener (up to 2)
자동 로딩 시스템	4축 ATM 로봇 자동 로더	4-axis ATM robot loader
정렬기	웨이퍼 사전 정렬기 포함	Wafer pre-aligner included
검사 방식	매크로 (상단/후면) 및 마이크로 시각 검사	Macro (Top/Backside) and Micro Visual Inspection
현미경 통합	Olympus / Evident MX63 또는 BXC 통합	Integrated with Olympus / Evident MX63 or BXC
스테이지 구성	진공 척 기반 수동 및 모터 구동 스테이지	Manual & motorized stage with vacuum chuck
웨이퍼 매핑	SEMI E142 표준 웨이퍼 매핑 시스템	Wafer mapping system (SEMI E142 standard)
데이터 관리	빈(Bin) / 결함(Defect) 데이터 관리	Bin / Defect data management
통신	TCP/IP 기본 지원, SECS/GEM 옵션 제공	TCP/IP platform, SECS/GEM (optional)
진동 제어	진동 방지 플랫폼 적용	Anti-vibration platform
클린룸 옵션	HEPA FFU 장착 가능 (옵션)	HEPA FFU available (optional)
물류 대응	OHT / AGV 연동 가능 (옵션)	OHT / AGV compatible (optional)

주요 특징

정밀 자동 로딩 시스템: 4축 ATM 로봇을 통한 웨이퍼 자동 적재 및 이송

다양한 검사 방식 통합: 매크로 + 마이크로 시각 검사 통합으로 결함 검출 정확도 향상

SEMI 표준 완전 대응: 웨이퍼, 매핑, 로딩 등 모든 구성 요소 SEMI 표준 호환

고객 맞춤 구성: 현장 요건에 따라 카세트, FFU, 물류 대응 옵션 조정 가능

클린 환경 대응: HEPA 필터 및 SMIF 포드를 통한 오염 최소화

검사 신뢰성 강화: 진동 방지 기반 구조 설계