구분

 사양 (Korean)

사양 (English) 

 적용 웨이퍼

8인치 / 12인치 SEMI 표준 웨이퍼 

8" / 12" SEMI standard wafers 

구조 및 재질 

 전체 스테인리스 스틸 구조 및 커버

Stainless steel for entire structure and covers 

 로딩 방식

FOUP / FOSB / 오픈 카세트 지원 (최대 2개 구성)

 FOUP / FOSB / Open Cassette (up to 2 units)

 자동 로더

 4축 ATM 로봇 자동 로딩 시스템

4-axis ATM robot loader 

 정렬기

 웨이퍼 사전 정렬기 포함

Wafer pre-aligner 

 검사 기능

매크로(상단/후면) 및 마이크로 검사

Macro (top/bottom) & micro inspection

 현미경 통합

 Olympus / Evident MX63L 또는 BXC

Olympus / Evident MX63L or BXC 

 스테이지

 진공 척이 있는 수동/모터 구동 스테이지

Manual/motorized stage with vacuum chuck 

 웨이퍼 매핑

 E142 SEMI 표준 웨이퍼 매핑 시스템

Wafer mapping platform (SEMI E142 standard) 

 데이터 관리

 빈 및 결함 데이터 관리

Bin/defect management 

 통신 인터페이스

 TCP/IP 통신 기본, SECS/GEM 옵션

TCP/IP (default), SECS/GEM (optional) 

 진동 방지

 진동 방지 플랫폼 적용

 Anti-vibration platform

 클린룸 대응

 HEPA FFU 옵션 구성 가능

 Optional HEPA FFU

 물류 시스템 연동

 OHT/AGV 대응 가능 (옵션)

 Compatible with OHT/AGV (optional)